据海外媒体报道,台湾一公司专精于制造各种冷却系统,所开发的高科技精密设备专用冷却机即是一全方位、高科技的冷却机。
该机采用IC基板及PID基板:由于IC基板不仅反应快,且能主动侦查错误并可随时更改程式,不会干扰其他机台,也不受电磁波的干扰。
PID基板则能将温度控制在±0.1-0.01℃,实际温度可选用0.1℃及0.01℃两种解析度;可使用于半导体制程设备、薄晶片研磨/切割/封装设备、真空溅镀机、IC封装机、超纯水制程设备及各项医疗设备等。该公司可针对任何特殊产业所需的冷却系统作设计及制造。